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2020-05-27 11:24:43
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투과전자현미경 cross-section 샘플 준비 방법 (ion milling 사용시)
1. 가로세로 약 3 mm 이내 크기로 자른다.
2. 수십 um 두께로 얇게 grinding 한다. 뒷면은 매끈하게 polishing 도 한다.
3. 가운데 부분을 수 um 이내 두께로 더 얇게 dimpling 한다.
4. ion beam 을 2~10º 의낮은 각도로 쏘아 가운데 구멍을 살짝 뚫는다.
5. 위 샘플의 구멍뚫린 가운데 주변은 매우 얇은 두께가 되며 그곳을 투과전자현미경으로 관찰한다.